Luận Văn Xây dựng hệ Photolithography và khảo sát kĩ thuật đóng gói Oled

(Luận văn dài 76 trang)


Mục Lục


LỜI CẢM ƠN i

DANH MỤC HÌNH ii

DANH MỤC BẢNG v

DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CÁC CHỮ VIẾT TẮT vi

Mục ục . 1

A.Lý thyết tổng quan 4

I.OLEDs và photolithography 5

I.1.Giới thiệu chung 5

I.2.Tổng quan về Photolithography . 6

I.3.Quá trình photolithography 8

I.3.1 Sấy khử nước . 8

I.3.2.Tạo màng PR trên bề mặt đế 10

I.3.3.Tiền xử lý nhiệt màng PR trước khi chiếu UV 12

I.3.4.Chiếu UV đế sau khi đã được xử lý nhiệt 13

I.3.4.1. Mask . 13

I.3.4.1.1. Vật liệu tạo mask 13

I.3.4.1.2. Bản thiết kế . 14

I.3.4.1.3. Dấu căn chỉnh . 14

I.3.4.1.4. Mask vùng tối và mask vùng sáng . 15

I.3.4.2. Chiếu UV đế 16

I.3.5. Development-Hình thành hình dáng mẫu trên bề mặt đế . 17

2

Khóa luận tốt nghiệp Đại học 8-2010

I.3.6.Hard baking-Hậu xử lý nhiệt màng PR . 18

II.OLEDs và kĩ thuật đóng gói OLED 18

II.1.Giới thiệu chung 18

II.2.Cấu trúc cơ bản của OLEDs . 19

II.2.1Cấu trúc đơn ớp 19

II.2.2 Cấu trúc đa ớp . 20

II.3.Cơ chế hoạt động của OLED 21

II.3.1.Sự phun hạt tải 21

II.3.2 Sự truyền hạt tải 24

II.3.3. Sự hình thành Exciton . 24

II.4.Hiệu suất của OLED . 26

II.4.1.Hiệu suất ượng tử 26

II.4.2.Hiệu suất phát quang 29

II.5.Độ bền của OLED . 30

II.5.1.Sự hình thành và phát triển của điểm tối 30

II.5.2.Sự khuếch tán của kim loại 31

II.5.3.Sự suy giảm hóa học của thành phần bên trong lớp hữu cơ . 31

II.5.4.Sự kết tinh của vật liệu hữu cơ . 31

II.6.Đóng gói OLED 32

II.6.1.Ảnh hưởng của Oxy và hơi nước đến tuổi thọ OLED . 32

II.6.2.Các phương pháp đóng gói OLED . 32

II.6.2.1.Phương pháp đóng gói truyền thống . 32



3

Khóa luận tốt nghiệp Đại học 8-2010

II.6.2.2.Phương pháp đóng gói bằng màng SiNx . 35

II.6.2.2.1.Tóm ược 36

II.6.2.2.2.Thí nghiệm . 36

II.6.2.2.3.Kết quả và bàn luận 37

II.6.3.Phương pháp kiểm tra độ kín nước của lớp màng đóng gói 40

B.Thực nghiệm . 41

III.Xây dựng hệ photolithography 42

III.1.Phòng Photolithography 43

III.2.Hệ Spin coating . 44

III.3.Hệ ủ nhiệt . 46

III.4.Đèn UV 47

III.5.Bộ phận giữ và điều chỉnh mẫu . 49

III.6. Bộ phận quan sát mẫu . 50

IV.Quy trình khảo sát sự hấp thụ hơi nước trong đóng gói 52

V.Kết quả và bàn luận 56

V.1.Khảo sát các quy tr nh trong chu tr nh photo ithoraphy . 56

V.1.1.Những vấn đề gặp phải trong quá tr nh Photo ithography . 58

V.1.2 Áp dụng Photolithography tạo hình dạng trên bề mặt đế ITO . 60

V.2.Khảo sát sự hấp thụ của hơi nước trong đóng gói 63

KẾT LUẬT . 68

HưỚNG PHÁT TRIỂN CỦA ĐỀ TÀI 69

TÀI LIỆU THAM KHẢO . 70