Đồ Án Tinh thể thach anh QCM và Màng nhôm xốp

ĐỀ TÀI: Tinh thể thach anh QCM và Màng nhôm xốp



MỤC LỤC​

Chương 1: Tổng quan về vi cân tinh thể thach anh QCM và Màng nhôm xốp

Lời nói đầu

1.1 Vi cân tinh thể thạch anh QCM

1.1.1. Hiệu ứng áp điện

1.1.2. Thạch anh và QCM

1.1.2.1 Tinh thể thạch anh

1.1.2.2. Vi cân tinh thể Quartz – QCM

1.1.3. Các yếu tố ảnh hưởng đến QCM

1.1.3.1. Ảnh hưởng của độ gồ ghề bề mặt

1.1.3.2. Ảnh hưởng của ứng suất.

1.1.4. Ứng dụng của QCM

1.1.4.1. Sensor khí

1.1.4.2. Sensor độ mật độ, độ nhớt của chất lỏng

1.1.4.3. Sensor miễn dịch

1.1.4.4. Phát hiện DNA

1.2. Màng nhôm xốp

1.2.1. Giới thiệu

1.2.2. Cơ chế hình thành màng nhôm xốp

1.2.2.1. Nhiệt động học

1.2.2.2. Động học

1.2.2.3Quá trình hình thành lỗ xốp

1.2.3 Các yếu tố ảnh hưởng

1.2.3.1. Điện áp

1.2.3.1Chất điện phân

1.2.3.3. Nhiệt độ

1.2.3.4. Thời gian điện phân

1.2.3.5. Tạp chất

1.2.4. Ứng dụng của màng nhôm xốp

1.2.4.1. Chế tạo ống nano cacbon CNTs

1.2.4.2. Chế tạo dây nano

1.2.4.3. Chế tạo nano rod

1.2.4.4. Chế tạo cảm biến đo độ ẩm

Chương 2: Các phương pháp thực nghiệm

2.1. Chế tạo QCM

2.1.1.Công nghệ MEMS

2.1.2. Các cấu trúc QCM

2.2. Phương pháp điện hoá

2.3 Hệ đo đặc trưng điện của QCM

Chương 3: Kết quả và thảo luận

3.1. QCM cấu trúc plannar

3.2. Tạo màng ôxít nhôm xốp trên Si/SiO2

Ảnh hưởng của điện áp

Ảnh hưởng của thời gian

3.3. Tạo màng ôxít nhôm xốp trên Quartz

3.3. Hệ đo đặc trưng điện của QCM