Tiến Sĩ Tạo màng dẫn điện trong suốt bằng phương pháp phún xạ magnetron

TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON

TRẦN CAO VINH​

Trang nhan đề
Lời cám ơn
Mục lục
Danh mục
Mở đầu
Chương_1: Ô xít dẫn điện trong suốt
Chương_2: Thực nghiệm và phương pháp nghiên cứu
Chương 3: Màng mỏng ITO
Chương4: Màng mỏng GZO
Kết luận và kiến nghị
Tài liệu tham khảo
187
MỤC LỤC
MỞ ĐẦU .1
CHƯƠNG 1. ÔXÍT DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT .5
1.1. Các thông số công nghệ đặc trưng của TCO .5
1.2. Vật liệu ITO và ZnO .10
1.3. Tính chất quang học của ôxít dẫn điện trong suốt (TCO) .12
CHƯƠNG 2. THỰC NGHIỆM VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU . 28
2.1. Phương pháp phún xạ magnetron . 28
2.2. Quá trình thực nghiệm và các phép đo . 28
2.3. Xác định các tính chất quang học của màng mỏng ITO và GZO từ phổ
truyền qua bằng mô hình hàm điện môi .28
CHƯƠNG 3. MÀNG MỎNG ITO . 28
3.1. Giới thiệu . .28
3.2. Xác định tính chất quang học của màng ITO từ phổ truyền qua .28
3.3. Ảnh hưởng của quá trình chế tạo lên tính chất điện và quang của màng
ITO trong phương pháp phún xạ magnetron dc .28
3.4. Cơ chế chuyển đổi định hướng ưu tiên của các mặt tinh thể trong quá trình
tăng trưởng màng mỏng ITO . .28
3.5. Tăng cường định hướng tinh thể ITO theo mặt (222) dựa trên lớp đệm
ZnO và lớp đệm ITO 28
3.6. Kết luận 28
CHƯƠNG 4. MÀNG MỎNG GZO . 28
4.1. Giới thiệu . .28
4.2. Chế tạo bia gốm dẫn điện GZO . .28
4.3. Sự hình thành ion âm trong phún xạ từ bia ZnO pha tạp .28
4.4. Xác định tính chất quang học của màng GZO từ phổ truyền qua 28
4.5. Ảnh hưởng của quá trình chế tạo lên tính chất điện và quang của màng
GZO trong phương pháp phún xạ magnetron RF 28
4.6. Kết luận 28
KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ . 28
DANH MỤC CÁC CÔNG TRÌNH . 28
TÀI LIỆU THAM KHẢO . 28