Luận Văn Nghiên cứu tổng hợp ZnO cấu trúc nano và ứng dụng trong cảm biến khí

MỤC LỤC

Trang

Trang phụ bìa i

LỜI CAM ĐOAN ii

LỜI CẢM ƠN iii

MỤC LỤC 1

DANH MỤC CÁC TỪ VIẾT TẮT 3

DANH MỤC HÌNH VẼ VÀ BẢNG BIỂU 4

LỜI MỞ ĐẦU 6

Chương 1- TỔNG QUAN LÝ THUYẾT 8

1.1. Tổng quan vật liệu cấu trúc nano một chiều (1D) 8

1.1.1. Tầm quan trọng của vật liệu cấu trúc nano 1D 8

1.1.2. Cơ chế tổng hợp cấu trúc nano 1D trong dung dịch 9

1.2. Tổng quan cấu trúc và tính chất ZnO 15

1.2.1. Cấu trúc nano ZnO 15

1.2.2. Tính chất cấu trúc nano ZnO và ứng dụng 17

1.3. Tổng quan cảm biến khí 21

1.3.1. Cảm biến khí 21

1.3.2. Các thông số đặc trưng cho một cảm biến 22

1.3.3. Các yếu tố ảnh hưởng tính nhạy khí của vật liệu oxit bán dẫn 23

Chương 2: NỘI DUNG VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU 26

2.1. Nội dung nghiên cứu 26




2.2. Phương pháp nghiên cứu 26

2.2.1. Phương pháp tổng hợp vật liệu thanh nano ZnO 26

2.2.2. Phương pháp khảo sát cấu trúc và đặc trưng của vật liệu 30

2.2.3. Khảo sát đặc tính nhạy khí của vật liệu thanh nano mọc trực tiếp lên điện cực 33

Chương 3: KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN 34

3.1. Kết quả hình dạng thanh nano ZnO trên đế Si 34

3.1.1. Mầm tinh thể ZnO trên đế Si 34

3.1.2. Hình thái cấu trúc thanh nano ZnO mọc trên đế Si 35

3.2 . Giản đồ nhiễu xạ tia X 46

3.3. Kết quả nghiên cứu chế tạo cảm biến và tính chất nhạy khí của vật liệu 48

3.3.1. Cấu trúc thanh nano ZnO mọc trực tiếp lên điện cực 48

3.3.2. Kết quả nhạy khí của vật liệu thanh nano ZnO mọc trên điện cực 50

KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ 53

TÀI LIỆU THAM KHẢO 54