Tiểu Luận Nghiên cứu tính chất quang điện của màng mỏng TiN

GIỚI THIỆU MÀNG TiN
Lớp Cao học VTDT Khóa 19


Ngày nay, màng mỏng có nhiều ứng dụng trong nhiều lĩnh vực như: cơ, nhiệt, điện , từ Đặc biệt trong lĩnh vực quang học, màng mỏng được ứng dụng rất đa dạng như: màng khử phản xạ đơn lớp và đa lớp, màng dẫn điện trong suốt, màng quang tích hợp, gương lạnh, gương nóng .
Một số tính chất của màng TiN :
Màng TiN là vật liệu có màu của kim lọai vàng, độ cứng cao (21 - 24 GPa), chịu nhiệt (nhiệt nóng chảy là 2950[SUP]0[/SUP]C), chống ăn mòn, và có điện trở suất khá nhỏ (20 - 30µΩ.cm). Hơn nữa, màng mỏng TiN có độ phản xạ cao trong vùng hồng ngoại, chiết suất thấp và hệ số tắt cao như màng Au, rất thích hợp làm lớp giữa trong hệ thống màng đa lớp. Tuy nhiên, tùy vào mục đích sử dụng khác nhau mà nhiều tác giả đã sử dụng các phương pháp chế tạo màng khác nhau trên các lọai đế khác nhau. Với mục đích dùng màng TiN làm hàng rào khuyếch tán trong công nghệ IC, một số tác giả đã chế tạo màng TiN trên đế Si, cho điện trở suất cỡ 25µΩ.cm . Một số tác giả khác ứng dụng tích chất cơ học của màng và ứng dụng cho mục đích trang trí, họ đã sử dụng đế thép (304) hoặc đế MgO(001), kết quả cho màng TiN có điện trở suất cỡ 13µΩ.cm - 192µΩ.cm, một số công trình khác, tác giả chế tạo màng TiN trên đế thủy tinh thì lại cho kết quả điện trở suất từ 50- 200µΩ.cm.