Thạc Sĩ Nghiên cứu tính chất điện quang của màng titan nitrit

GIỚI THIỆU

Những nguồn năng lượng tự nhiên mà con người đang khai thác và sử dụng ngày càng cạn kiệt, bên cạnh đó việc phát triển của nền công nghiệp đã làm cho môi trường ngày càng ô nhiễm nặng. Trong khi đó, năng lượng mặt trời được coi là nguồn năng lượng vô tận. Việc tận dụng nguồn năng lượng đó đang là xu hướng chung của mọi ngành. Năng lượng chính mà trái đất nhận được từ mặt trời là quang năng và nhiệt năng, gương nóng truyền qua chính là cách tận dụng tốt nhất nguồn năng lượng đó. Gương nóng truyền qua không chỉ có khả năng phản xạ bức xạ hồng ngoại mà còn có tính chất truyền qua cao trong vùng khả kiến.

Nhiều vật liệu đã được thử nghiệm bằng nhiều cách để tạo màng đa lớp phản xạ nhiệt ứng dụng cho gương nóng truyền qua. Trong đó, màng điện môi/kim loại/điện môi được nghiên cứu nhiều nhất như: SiO2/Al/SiO2, Al2O3/Mo/Al2O3, TiO2/Ag/TiO2, Al2O3/Cu/Al2O3, nhưng trong số đó, màng đa lớp TiO2/Ag/TiO2 có những tính chất thỏa mãn tốt yêu cầu của màng đa lớp phản xạ nhiệt. Tuy nhiên, bạc lại là chất dể bị tác động của môi trường, không bền về mặt hóa học, nhiệt học và vì thế làm mất đi những tính chất cần thiết. Để thay thế cho màng kim loại bạc nhưng lại có tính trơ về mặt hóa học, cơ học lẫn nhiệt học, các nhà nghiên cứu đã tìm ra màng titan nitrite (TiN) có thể đáp ứng tốt những yêu cầu nêu trên.

Trong luận văn này, chúng tôi tập trung nghiên cứu những tính chất của màng TiN được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng dc trên hệ magnetron gần cân bằng. Để có được những tính chất thỏa mãn yêu cầu thay thế cho lớp bạc trong hệ màng đa lớp phản xạ nhiệt TiO2/Ag/TiO2, thì màng TiN yêu cầu phải có tính bám dính tốt, có điện trở suất nhỏ, màng có cấu trúc tinh thể tốt.