Tài liệu Nghiên cứu chế tạo Sensor gia tốc kiểu tụ trên cơ sở công nghệ Mems

[TABLE=class: itemDisplayTable]
[TR]
[TD=class: metadataFieldLabel]Tựa đề: [/TD]
[TD=class: metadataFieldValue]Nghiên cứu chế tạo Sensor gia tốc kiểu tụ trên cơ sở công nghệ Mems[/TD]
[/TR]
[TR]
[TD=class: metadataFieldLabel]Tác giả: [/TD]
[TD=class: metadataFieldValue]Vũ Ngọc, Hùng
Nguyễn Phú, Thùy[/TD]
[/TR]
[TR]
[TD=class: metadataFieldLabel]Từ khóa: [/TD]
[TD=class: metadataFieldValue]Nghiên cứu
Chế tạo
Gia tốc
Công nghệ
Cơ điện tử[/TD]
[/TR]
[TR]
[TD=class: metadataFieldLabel]Ngày phát hành: [/TD]
[TD=class: metadataFieldValue]14-Apr-2010[/TD]
[/TR]
[TR]
[TD=class: metadataFieldLabel][/TD]
[TD=class: metadataFieldValue][/TD]
[/TR]
[TR]
[TD=class: metadataFieldLabel]Tóm tắt: [/TD]
[TD=class: metadataFieldValue]Seror gia tốc vi cơ điện tử(Mems) rất được quan tâm nghiên cứu vởi khả năng ứng dụng to lớn của chúng trong điều khiễn các hệ thống chuyển động như người máy, ô tô .Seror gia tốc Mems thường hoạt động trên cơ sở nguyên lý như áp điện trở hoặc biến đổi điện dung. Bài viết trình bày kết quả nghiên cứu thiết kế chế tạo và đặc trưng của seror gia tốc kiễu tụ.[/TD]
[/TR]
[/TABLE]