Thạc Sĩ Nghiên cứu chê tạo màng mỏng điện sắc v2o5 bằng phương pháp phún xạ magnetron dc

ii
MỤC LỤC
Trang
Tóm tat . i
Mục lục . ii
Danh mục các bảng bieu . iv
Danh mục các hình vẽ, đô thị . v
L%I M& ĐÂU 1
Chương 1 – TONG QUAN VÊ MÀNG MNG ĐIEN SAC V2O5
1.1. HIEU
NG ĐIEN SAC – VAT LIEU ĐIEN SAC 3
1.2. MÀNG MNG ĐIEN SAC V2O5 . 4
1.2.1.Gi
i thieu chung vê Oxide vanadium 4
1.2.2.Câu trúc V2O5 6
1.2.3.Hieu ng đien sac ca màng m ng V2O5 10
1.2.4.S
chuyen pha trong quá trình đien sac ca màng m ng V2O5 . 13
1.3.
NG DNG C,A MÀNG MNG V2O5 . 18
Chương 2 – PHƯƠNG PHÁP CHÊ TO VÀ KHO SÁT TÍNH CHÂT MÀNG
MNG V2O5
2.1. CHÊ TO MÀNG MNG BANG PHƯƠNG PHÁP PHÚN X 23
2.1.1.Khái niem vê phún x 23
2.2.2.Phún x magnetron phang . 24
2.2.3.Phún x magnetron DC t bia kim loi Vanadium 26
2.2. CÁC PHƯƠNG PHÁP KHO SÁT TÍNH CHÂT MÀNG MNG ĐIEN
SAC V2O5 . 27
2.2.1.Phương pháp pho truyên qua – hâp thu 27
2.2.2.Phương pháp nhieu x tia X (XRD) . 27
2.2.3.Phương pháp pho Raman . 30
2.2.4.Phương pháp nh hien vi đien t quét (SEM) 30
2.2.5.Phương pháp xác đ"nh đo dày màng . 31
2.2.6.Phương pháp kho sát tính đien hóa ca màng 31
iii
Chương 3 – CHÊ TO MÀNG MNG V2O5 TRÊN ðÊ TH,Y TINH BANG
PHƯƠNG PHÁP PHÚN X MAGNETRON DC
3.1. GI3I THIEU 34
3.2. TH4C NGHIEM 34
3.3. KÊT QU VÀ BÀN LUAN . 35
3.3.1.,nh hư-ng ca cư.ng đo dòng phún x v
i các t0 le khí khác
nhau . 35
3.3.2.Kho sát nh hư-ng ca khong cách bia – ñê 41
3.3.3.Kho sát nh hư-ng ca th.i gian phún x 42
3.3.4.Kho sát nh hư-ng ca nhiet đo ñê . 43
3.3.5.Kho sát nh hư-ng ca quá trình x lý nhiet màng . 52
3.4 KÊT LUAN 56
Chương 4 – TÍNH CHÂT ĐIEN SAC C,A MÀNG MNG PHÚN X V2O5
4.1 S4 PHÁT TRIEN MÀNG TRÊN ðÊ DAN ĐIEN TRONG SUÔT . 57
4.1.1.Tính chât ca màng dan đien trong suôt 57
4.1.2.S
phát trien tinh the màng V2O5 trên ñê dan đien trong suôt . 58
4.1.3.Kêt luan . 64
4.2 NH HƯ&NG C,A QUÁ TRÌNH X= LÝ NHIET LÊN TÍNH CHÂT
C,A MÀNG V2O5 PH, TRÊN ĐÊ ITO . 64
4.2.1.Kho sát pho truyên qua . 64
4.2.2.Kho sát pho XRD . 65
4.3 TÍNH CHÂT ĐIEN HÓA C,A MÀNG V2O5 67
4.3.1.Kho sát nh hư-ng ca tôc đo quét thê . 67
4.3.2.Kho sát nh hư-ng ca nhiet đo  . 71
4.3.3.Kh năng tiêm – thoát lithium ca màng 72
4.3.4.Kho sát s
on đ"nh ca màng . 76
4.4 TÍNH CHÂT ĐIEN SAC C,A MÀNG MNG V2O5 . 77
4.5 KÊT LUAN 80
Chương 5 – KÊT LUAN VÀ HƯ3NG PHÁT TRIEN 81
DANH MC CÔNG TRÌNH C,A TÁC GI . 83
TÀI LIEU THAM KHO 84