Thạc Sĩ Luận văn tiến sĩ hóa đề tài: Nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (Al2O3) bằng phương

M.C L.C
PH.N M. Ð.U .1
PH.N I: T.NG QUAN .7
1. CHÝÕNG 1: V.T LI.U Al2O3 .7
1.1. Khái quát v. ôxit nhôm (Al2O3) .7
1.2. Tính ða h.nh c.a ôxit nhôm .7
1.3. Các pha c.a Al2O3 .8
1.4. Màng m.ng Al2O3 .15
1.5. Các ho.t ð.ng IR và Raman c.a Al2O3 16
2. CHÝÕNG 2: CÁC PHÝÕNG PHÁP T.O MÀNG M.NG 21
2.1. Phýõng pháp ngýng t. t. dung d.ch 21
2.2. Phýõng pháp phún x. magnetron .22
2.3. Phýõng pháp ði.n hóa 25
2.4. M.t s. tính ch.t màng m.ng ð. ðý.c .ng d.ng .27
3. CHÝÕNG 3: MÔ PH.NG TRONG V.T L .30
3.1. T.ng quan 30
3.2. Cõ s. c.a mô ph.ng 30
3.3. H. th.ng – mô h.nh – gi.i pháp .31
3.4. Ýu khuy.t ði.m c.a phýõng pháp mô ph.ng 33
3.5. M.t s. phýõng pháp mô ph.ng .34
3.6. Các k. thu.t mô ph.ng .35
3.7. M.t s. mô h.nh mô ph.ng trong v.t l. màng m.ng 35
3.8. K.t lu.n 42
PH.N II: TH.C NGHI.M 43
4. CHÝÕNG 4: MÔ PH.NG PHÚN X. MAGNETRON . MÔ PH.NG PH.
UVVIS VÀ T.O M.U MÀNG Al2O3 .43
4.1. Mô ph.ng phún x. 43
4.2. M.t s. thông tin ban ð.u chu.n b. cho mô ph.ng .44
4.3. Th.c hi.n mô ph.ng phún x. 49
4.4. Mô ph.ng ph. UVVIS 61
4.5. T.o m.u màng, ðo ph. và x. l. ph. ðo 72
5. CHÝÕNG 5: KH.O SÁT MÀNG M.NG Al2O3 TH.C HI.N B.NG PHÚN
X. RF 75
5.1. T.o màng m.ng Al2O3 b.ng phún x. RF 75
ii
5.2. Kh.o sát s. chuy.n pha 81
5.3. K.t lu.n chýõng 5 .101
6. CHÝÕNG 6: KH.O SÁT MÀNG M.NG Al2O3 TH.C HI.N B.NG SOL–
GEL 103
6.1. T.o màng b.ng SOL–GEL 103
6.2. Kh.o sát màng b.ng quang ph. 105
6.3. Màng Al2O3 Sol gel trên ð. th.ch anh 119
6.4. K.t lu.n chýõng 6 .122
7. CHÝÕNG 7 : KH.O SÁT MÀNG M.NG Al2O3 TH.C HI.N B.NG ÐI.N
HÓA .125
7.1. T.o màng b.ng ði.n hóa 125
7.2. Kh.o sát màng ði.n hóa b.ng ph. h.ng ngo.i 127
7.3. Kh.o sát màng ði.n hóa b.ng ph. XRD .129
7.4 ng d.ng .130
7.5. K.t lu.n chýõng 7 .133
PH.N III: K.T LU.N 135
1. CÁC K.T QU. NGHIÊN C.U 135
2. CÁC GIÁ TR. KHOA H.C .137
3. CÁC GIÁ TR. TH.C TI.N .138
4. NH.NG V.N Ð. C.N TI.P T.C NGHIÊN C.U .139
TÀI LI.U THAM KH.O .141
DANH M.C CÁC CÔNG TR.NH CÔNG B. C.A TÁC GI 147
PH. L.C 1: B.NG PH. XRD THAM KH.O .148
PH. L.C 2: CÁC B.NG PH. IR VÀ RAMAN .155
PH. L.C 3: CÁC B.NG WYCKOFF 160
PH. L.C 4: CÁC PH.N M.M (Ðính kèm ð.a CD) 164
H.nh 1. Giao di.n ph.n m.m 164
H.nh 1. Giao di.n ph.n m.m. .166
H.nh 2. K.t qu. mô ph.ng hi.n th. tr.c quan 166
H.nh 1. Giao di.n ph.n m.m 167
iii
DANH M.C H.NH
H.nh 1.1 S. chuy.n pha c.a Al2O3 theo nhi.t ð. nung. .9
H.nh 1.2 C.u trúc c.a Al2O3 [24]. .11
H.nh 1.3 Ô ðõn v. hexagonal c.a Al2O3 .12
H.nh 1.4 C.u trúc spinel .12
H.nh 1.5. Mô h.nh không gian . – Al2O3 .13
H.nh 1.6 Mô h.nh không gian . – Al2O3 .14
H.nh 1.7 Ô ðõn v. ôxit nhôm d.ng ðõn tà .14
H.nh 1.8 a C.m bi.n d.u vân tay có ph. màng b.o v. Al2O3