Báo Cáo Kính hiển vi điện tử

NỘI DUNG
KHÁI QUÁT, PHÂN LOẠI
Định nghĩa . Trang 5
Phân loại . Trang 6
TEM: KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ TRUYỀN QUA
Cấu tạo Trang 8
Súng phóng electron . Trang 9
Thấu kính từ . Trang 10
Hệ thấu kính hội tụ . Trang 12
Vật kính Trang 13
Thấu kính nhiễu xạ . Trang 14
Hệ thống thấu kính phóng đại Trang 16
Nguyên lý hoạt động . Trang 16
Sự tạo ảnh
Ảnh trường tối, trường sáng . Trang 16
Ảnh nhiễu xạ điện tử Trang 18
Ảnh cấu trúc domain Trang 20
SEM: KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT
Cấu tạo Trang 21
Nguyên lý hoạt động . Trang 22
Sự tạo ảnh trong SEM . Trang 23
Độ phóng đại trong SEM Trang 24
STM: KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ XUYÊN HẦM
Giới thiệu Trang 26
Nguyên lý hoạt động . Trang 27
Bộ phận chính . Trang 28
Hiện tượng áp điện Trang 29
Tạo ảnh màu Trang 30
Một số ảnh màu . Trang 31
AFM: KÍNH HIỂN VI LỰC NGUYÊN TỬ
Cấu tạo Trang 32
Nguyên lý hoạt động . Trang 33
Chế độ hoạt động
Chế độ tiếp xúc . Trang 35
Chế độ không tiếp xúc . Trang 35
Chế độ tapping . Trang 36 Hình ảnh Trang 37
SO SÁNH TỔNG KẾT
Bảng tổng kết Trang 39
Những điểm đáng chú ý Trang 40
ỨNG DỤNG
Nhận biết phân bố nguyên tố, hình dạng mẫu vật thể Trang 42
Phân tích thành phần, giải thích tính chất vật liệu Trang 42
Khảo sát cấu trúc linh kiện của MEMS Trang 43
TƯ LIỆU THAM KHẢO Trang 47