Tài liệu Ellipsometry - các loại ellipsometer

Đề tài: Ellipsometry - các loại ellipsometer


Ellipsometry là 1 kỹ thuật nhạy để xác định các tính chất của bề mặt và màng mỏng.

Nguyên tắc chung của phương pháp : dựa trên sự thay đổi trạng thái phân cực của ánh sáng khi phản xạ.

Chùm sáng phân cực thẳng đến nghiêng góc với mặt mẫu trở thành phân cực ellip khi phản xạ.

Có nhiều cách bố trí thực nghiệm để đo sự thay đổi của trạng thái phân cực đó